《电子能谱及其应用》

《电子能谱及其应用》
Electron Spectroscopy with Applications
麻茂生
中国科学技术大学

目 录
第一章 表面和表面分析技术
一、表面与表面分析
二、电子能谱及其特点
三、电子能谱与表面灵敏性
四、常用表面分析技术
第二章 电子能谱分析基础
一、原子能级及其表示
二、原子的激发和弛豫效应
三、结合能与化学位移
第三章 电子能谱仪构成
一、超高真空系统(UHV)
二、X射线光源
1、常规双阳极X射线源
2、单色化X射线源
3、同步辐射光源
三、电子枪
四、离子枪
五、电子能量分析器
1、半球扇型分析器(HSA)
2、筒镜型分析器(CMA)
六、检测器
七、数据系统
八、其它附件
九、谱仪灵敏度和检测限
十、静电荷电于样品的辐射损伤
十一、谱仪能量的定标
十二、清洁表面制备
第四章 定性和定量分析
一、电子能谱图的一般特性
1. XPS谱图的初级结构
2. XPS谱图的次级结构
2. AES谱图的性质
二、定性分析
1. 元素组成鉴别
三. 化学态分析四、定量分析
五、深度剖析
1、非结构破坏性深度剖析(d ~ λ)
2、结构破坏性深度剖析（d>>λ)
五、微区分析
六、表面化学成像
1、成像XPS(iXPS)
2、扫描俄歇显微探针(SAM)
第五章 电子能谱的应用
一、电子能谱应用引论
二、在高分子聚合物材料中的应用
三、在催化材料科学中的应用
四、在冶金科学中的应用
五、在半导体微电子技术中的应用
六、在固体物理学中的应用
七、在基础化学中的应用
八、在腐蚀科学中的应用
九、其它各种分析应用概要


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